MST-XY-100x100 工业显微镜扫描平台
显微镜扫描台
MST-XY-110X110 工业测量显微镜扫描平台
MST-XY-110X110工业测量显微镜扫描平台
特点
· 丝杠传动，步驱电机，
· XY轴满足高精度，行程可订制
· 连续运动平滑，工业级别使用寿命
· 性价比高，国内生产
· 工业显微镜
技术指标
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项目｜参数 |
参数 |
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电机类型及驱动方式 |
2相步进电机+精密滚珠丝杆 |
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丝杆导程 |
2mm |
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行程 |
110mm x 110mm |
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重复定位精度 |
≤±1.5um |
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定位精度 |
≤±5um（可补偿到±2um） |
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最小步长 |
0.1um |
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平面度[um] |
≤±4 |
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直线度[um] |
≤±2 |
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正交性[arcsec] |
≤±3 |
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最大速度[mm/s] |
≥30 |
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最大负载[kg] |
≥10 |
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结构件材质及表面处理 |
铝合金硬质阳极氧化 |
