MST-XY-100x100 工业显微镜扫描平台
显微镜扫描台
MST-XY-110X110 工业测量显微镜扫描平台
MST-XY-110X110工业测量显微镜扫描平台
特点
· 丝杠传动,步驱电机,
· XY轴满足高精度,行程可订制
· 连续运动平滑,工业级别使用寿命
· 性价比高,国内生产
· 工业显微镜
技术指标
项目|参数 |
参数 |
电机类型及驱动方式 |
2相步进电机+精密滚珠丝杆 |
丝杆导程 |
2mm |
行程 |
110mm x 110mm |
重复定位精度 |
≤±1.5um |
定位精度 |
≤±5um(可补偿到±2um) |
最小步长 |
0.1um |
平面度[um] |
≤±4 |
直线度[um] |
≤±2 |
正交性[arcsec] |
≤±3 |
最大速度[mm/s] |
≥30 |
最大负载[kg] |
≥10 |
结构件材质及表面处理 |
铝合金硬质阳极氧化 |