六轴并联运动平台
TRI-HEX系列并联运动平台
HEX-S5.10.60-XXX系列六自由位移台
特点（国内自主研发机械组装，超高机械精度）
· 丝杠传动，步驱电机，TRI-POD结构调整Z轴及θXθY轴，θX轴360度旋转。
· XY轴满足高精度，大行程
· 连续运动平滑，工业级别使用寿命
· 性价比高，国内生产
· 适用于调平机构，半导体晶圆检测
技术指标
规格 | XY轴 | θXθY轴 | Z轴 | θZ轴 |
有效行程 | ±30mm | ±2.5deg | ±5mm | 360deg |
电机类型 | 直线电机 | 步进电机 | 步进电机 | 直驱电机 |
光栅分辨率 | 4.88nm（1vpp） | 4.88nm（1vpp） | 4.88nm（1vpp） | 0.04sec |
最小步长 | 100nm | 0.3sec | 100nm | 0.1sec |
重复定位精度 | ±0.2um | ±1sec | ±0.3um | ±1sec |
定位精度 | ±1um | ±5sec | ±1um | ±5sec |
最大速度 | 100mm/s | 30deg/sec | 15mm/s | 4rps |
最大负载 | 水平负载10kg，垂直使用负载请联系厂家沟通 | |||
最大质量 | 整机重量12kg | |||
PS:
1、以上所有精度都为厂家标准控制器在实验室环境中理想条件测试所得
2、接受特殊型号及尺寸定制
