三轴并联运动平台20230804
TRI-VM-R5三轴并联调平平台
TRI-VM-R5三轴并联调平平台
特点（国内自主研发机械组装，超高机械精度）
· 丝杠传动，步驱电机，TRI-POD结构调整Z轴及θXθY轴
· 连续运动平滑，工业级别使用寿命
· 性价比高，国内生产
技术指标
规格 | 参数 |
Z轴最大行程 | ±5mm |
Z轴分辨率 | 4.88nm |
Z轴重复定位精度 | ±0.2um |
位置稳定性 | ±20nm |
最大速度 | 5mm/s |
最大加速度 | 2m/s |
θX/θY 最大行程 | ±2.5° |
θ轴分辨率 | 0.15sec |
θ轴重复定位精度 | ±1sec |
最大速度 | 1°/s |
最大加速度 | 20°/s^2 |
配重平衡方式 | 气动衡力平衡（最小气压0.1MPa 最大气压0.6MPa） |
最大负载 | 20kg |
PS:
1、以上所有精度都为厂家标准控制器在实验室环境中理想条件测试所得
2、接受特殊型号及尺寸定制
