ABL250-X系列高性能一维气浮运动平台
气浮直线平台
ABL250-X系列高性能一维气浮运动平台
ABL250-X系列高性能一维气浮运动平台
特点
· 气浮直线导轨，无摩擦，直线电机驱动，光栅反馈
· 100mm至600mm行程
· 连续运动平滑，工业级别使用寿命
· 性价比高，国内生产，满足国内工业客户要求
技术指标
参数 | 参数 | ABL250-100 | -200 | -300 | -400 | -500 | -600 |
有效行程 [mm] | 100 | 200 | 300 | 400 | 500 | 600 |
光栅分辨率 [nm] | 5nm（模拟量）可选配其他型号光栅分辨率 | |||||
重复定位精度 [nm] | ±50 | ±50 | ±100 | ±150 | ±200 | ±250 |
定位精度 | 2um/100mm （校准后可小于0.3um/100mm） | |||||
直线度 [um] | ±0.4 | ±0.5 | ±0.6 | ±0.75 | ±1 | ±1.5 |
平面度 [um] | ±0.4 | ±0.6 | ±1 | ±1.5 | ||
最大速度 | 2m /s | |||||
最大加速度(空载) | 2G | |||||
水平负载 [kg] | 35kg | |||||
侧面负载 [kg] | 20kg | |||||
