ABRX-M200电机直驱气浮旋转台
电机直驱气浮转台
ABRX-M200配有电机驱动的气浮转台
ABRX-M200电机直驱气浮旋转台
特点
· 气浮轴承,力矩电机驱动,光栅编码器反馈,
· 端面跳动量<100nm
· 连续运动平滑,工业级别使用寿命
· 性价比高,国内生产,满足国内工业客户要求
技术指标
规格 | 参数 |
电机扭矩 | 0.7Nm额定 2.7Nm峰值 |
最大转速 | 1000rpm |
编码器线数 | 15744line |
编码器分辨率 | 0.41sec(数字量对应0.1um,可选1Vpp更高分辨率) |
重复定位精度 | ≤±1sec |
轴向最大负载(5bar) | 1200N |
径向最大负载(5bar) | 350N |
轴向最大刚性(5bar) | 480N/um |
径向最大刚性(5bar) | 160N/um |
轴向最大跳动* | <100nm |
径向最大跳动* | <100nm |
综合耗气量 | 25NL/min |