ABVT-Z系列Z轴气浮运动平台
Z轴气浮直线平台
ABVT-Z 系列（Z轴气浮运动平台）垂直轴气浮运动平台
ABVT-Z 系列（Z轴气浮运动平台）垂直轴气浮运动平台
特点
· 气浮直线导轨，无摩擦，直线电机驱动，光栅反馈
· Z轴20mm和38mm行程
· 连续运动平滑，工业级别使用寿命
· 性价比高，国内生产，满足国内工业客户要求
技术指标
参数 | 项目 | ABVT-Z20 | -Z38 |
电机类型 | 音圈电机 | |
光栅分辨率 | sin\cos 4.88nm（可选其它更高分辨率） | |
电机推力 | 持续27N/峰值119N | 持续45N/峰值192N |
最小步长[nm] | 10nm(搭配nanopwm或者线性驱动器) | |
行程 [mm] | 20 | 38 |
重复定位精度 [um] | ±50nm | |
定位精度 [um] | ±150nm | |
平面度 [um] | 1um | 1.5um |
直线度 [um] | 0.5um | 0.7um |
最大速度 [mm/s] | 50mm/s | |
最大负载 [kg] | 6kg(采用气动恒力弹簧平衡) | |
