EC-ABL-X系列一维气浮运动平台
气浮直线平台
EC-ABL-X(经济型磁力预载系列)一维气浮运动平台
EC-ABL-X(经济型磁力预载系列)一维气浮运动平台
特点
· 气浮直线导轨，无摩擦，直线电机驱动，光栅反馈
· 200mm至500mm行程
· 连续运动平滑，工业级别使用寿命
· 性价比高，国内生产，满足国内工业客户要求
技术指标
参数 | 项目 | EC-ABL-200 | -300 | -400 | -500 |
电机类型 | 有铁芯直线电机 | |||
光栅分辨率 | 默认0.1um（可选模拟量，最高1nm） | |||
电机推力 | 持续90N/峰值190N | |||
加速度（空载） | 5G | |||
行程 [mm] | 200 | 300 | 400 | 500 |
重复定位精度 [um] | ≤±0.2um（如选配5nm光栅，最高可达±50nm） | |||
定位精度 [um] | 2um/100mm （校准后可小于0.5um/100mm） | |||
平面度 [um] | ≤±0.4 | ≤±0.5 | ≤±0.7 | ≤±0.8 |
直线度 [um] | ≤±0.5 | |||
最大速度 [mm/s] | 1000(取决于驱动器及行程) | |||
最大负载 [kg] | 10kg | |||
