LMT-XYZ三轴高精度直线平台
XYZ三轴高精度直线电机位移台
LMT-XYZ 系列（XYZ紧凑结构）
LMT-XY-200*200+ABVT-Z20(气浮导轨)图示
LMT200*200+NPZ10（机械导轨）结构示意
LMT-XYZ 系列（XYZ紧凑结构）
特点
· XY轴都采用直线电机驱动实现高精度，一体化结构
· Z轴可选20mm或10mm行程，组装好，快速供货
· 连续运动平滑，工业级别使用寿命
· 性价比高，国内生产
· 用于工业显微镜或者光学设备
LMT200*200+ ABVT-Z20技术指标
参数 | 项目 | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20(气浮导轨) |
电机类型 | 三相无铁芯电机 | 音圈电机 |
光栅分辨率 | 默认100nm数字量 | 1vpp 细分至5nm |
电机推力 | 持续60N/峰值210N | 持续27N/峰值119N |
最小步长[nm] | 200nm | 100nm |
行程 [mm] | 200x200 | 10 |
重复定位精度 [um] | ±0.3 | |
定位精度 [um] | ±1 | ±0.5 |
平面度 [um] | 10um | 5um |
直线度 [um] | 1um | 1um |
最大速度 [mm/s] | 500mm/s | 30mm/s |
最大负载 [kg] | 5kg（Z轴带气动恒力平衡配重） | |
LMT200*200+NPZ10技术指标
参数 | 项目 | LMT-XY-200X200 | NFZ10 |
电机类型 | 三相无铁芯电机 | 音圈电机 |
光栅分辨率 | 默认100nm数字量（可选1vpp模拟量或者其他分辨率） | |
电机推力 | 持续60N/峰值210N | 持续30N/峰值90N |
最小步长[nm] | 200nm | 200nm |
行程 [mm] | 200x200 | 10 |
重复定位精度 [um] | ±0.3 | |
定位精度 [um] | ±1 | ±0.5 |
平面度 [um] | 10um | 8um |
直线度 [um] | 1um | 1.5um |
最大速度 [mm/s] | 500mm/s | 50mm/s |
最大负载 [kg] | 5kg（Z轴带气动恒力平衡配重） | |
