GLMT-XY高精度大理石XY结构直线电机平台
高精度大理石XY结构直线电机平台
GLMT-XY 系列（超高精度直线电机平台）
GLMT-XY 系列（超高精度直线电机平台）
特点（大理石底座，超高平面度，超高精度）
· 直线电机双驱，250*250mm或360*360mm行程，大理石底座固定，非常平稳定
· 高平面度，高精度
· 连续运动平滑，工业级别使用寿命
· 性价比高，国内生产，使用ACS控制系列
· 适用于半导体加工，晶圆检测等光学设备
技术指标
参数 | 项目 | 250x250 | 360x360 | |
电机类型 | 三相有铁芯电机 | ||
光栅分辨率 | sin\cos 4.88nm（可选其它更高分辨率） | ||
上轴电机推力[N] | 持续220N 峰值440N | ||
下轴电机推力[N] | 持续330N*2 峰值660N*2 | ||
上轴空载加速度[g] | 4.5G | ||
上轴空载加速度[g] | 3G | ||
最小步长[nm] | 10nm(搭配nanopwm或者线性驱动器) | ||
行程 [mm] | 250x250 | 360x360 | |
重复定位精度 [um] | ±0.5 | ±0.5 | |
定位精度 [um] | ±1 | ±1.5 | |
平面度 [um] | ±2 | ±3 | |
直线度 [um] | 1.5 | 1.5 | |
最大速度 [mm/s] | 500mm/s | ||
最大负载 [kg] | 50kg | ||
