LMTE390-XY-330X330大中空XY直线电机位移台
大中空XY直线电机位移台
LMTE390-XY-330X330 系列（XY大中空孔径结构）
LMTE390-XY-330X330 系列（XY大中空孔径结构）
特点
· XY轴都采用直线电机驱动实现高精度，330*330mm行程
· 重复定位精度 ±0.25um
· 连续运动平滑，工业级别使用寿命
· 性价比高，国内生产
· 用于工业显微镜或者光学设备
技术指标
参数 | 项目 | X轴（上轴） | Y轴（下轴） |
电机类型 | 双直线电机驱动 | |
光栅分辨率 | sin\cos 4.88nm（可选绝对值或更高分辨率） | |
电机推力 | 持续60N/峰值210N | 持续120N/峰值420N |
最小步长[nm] | 50nm(搭配nanopwm或者线性驱动器) | |
行程 [mm] | 330 | 330 |
重复定位精度 [um] | ±0.25 | |
定位精度 [um] | ±1（干涉仪校准） | |
平面度 [um] | ≤±2.5um | |
直线度 [um] | ≤±1.5um | ≤±2um |
最大速度 [mm/s] | 1000 | |
最大加速度[g]空载 | 1.5g（上轴）1g（下轴） | |
最大负载 [kg] | 30 | |
