NFZ240-Z高精度大负载Z轴直线电机平台
高精度大负载Z轴直线电机平台
NFZ240-Z 系列（Z轴高精度直线电机平台）
NFZ240-Z 系列（Z轴高精度直线电机平台）
特点（垂直轴直线电机运动平台：带配重平衡和导轨刹车）
· 直线电机驱动高精度，导轨配刹车，可实现Z轴刹车功能
· 连续运动平滑，工业级别使用寿命
· 性价比高，国内生产
技术指标
参数 | 项目 | NF240-Z100 | NF240-Z200 | |
电机类型 | 双直线电机驱动 | ||
光栅分辨率 | sin\cos 4.88nm（可选其它更高分辨率） | ||
电机推力 | 持续60N/峰值210N | 持续120N/峰值420N | |
最小步长[nm] | 50nm(搭配nanopwm或者线性驱动器) | ||
行程 [mm] | 100 | 200 | |
重复定位精度 [um] | ±150nm | ||
定位精度 [um] | ±300nm（干涉仪校准） | ||
平面度 [um] | ≤±2.5um | ≤±3.5um | |
直线度 [um] | 1.5um | 2um | |
最大速度 [mm/s] | 300mm/s | ||
最大负载 [kg] | 25kg(采用气动恒力弹簧平衡) | ||
