精密气浮直线位移台
精密气浮直线位移台
特点(气浮,更好的平面度,直线性)
· 直线电机驱动,有铁芯电机
· 气浮导轨
· 优秀的重复定位精度
· 使用中安静,平稳
· 连续运动平滑,工业级别使用寿命,长时间免维护
· 快速启动,快速响应 ,动态性能好
ABS180系列直线电机平台采用了气浮导轨结合有铁芯直线电机的方式,拥有传统机械导轨无法比拟的直线度及平面度,特别适用在对于微小步距或者需要超精确定位的应用场景。是精密光学调试、安装、加工非常优秀的应用选择。自主研发的气浮导轨使得我们获得更快速的供货能力和经济性。
适用于光学,生物,半导体等领域。
需使用在干净洁净的厂所。
技术指标
型号:ABS180
技术指标 | -100 | -200 | -300 | -400 |
行程 | 100mm | 200mm | 300mm | 400mm |
光栅类型 | 增量式光栅0.1um(可选最高1nm光栅,绝对式选配) | |||
直线推力 | 持续132N/峰值230N | |||
加速度(空载) | 5G | |||
限位类型 | 机械、光电 | |||
材料 | 铝 | |||
重复定位精度 | ≤±0.2um(如选配5nm光栅,最高可达±50nm) | |||
定位精度 um | 2um/100mm (校准后可小于0.5um/100mm) | |||
最大速度 mm/s | 300mm/s | |||
平面度 | ≤±0.4 um | ≤±0.5 um | ≤±0.7 um | ≤±0.8 um |
最大负载 kg | 5 | |||
直线度 | ≤±0.5 | |||
最大速度 | 1m/s |
备注:可订制不同行程,请与厂家联系。