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精密气浮直线位移台


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精密气浮直线位移台

特点气浮,更好的平面度,直线性

·                      直线电机驱动有铁芯电机 

·                      气浮导轨            

·                      可实现很小的步距

·                      优秀的重复定位精度

·                      使用中安静,平

·                      连续运动平滑,工业级别使用寿命,长时间免维护

·                      快速启动,快速响应 ,动态性能好                                         


ABS180系列直线电机平台采用了气浮导轨结合有铁芯直线电机的方式,拥有传统机械导轨无法比拟的直线度及平面度,特别适用在对于微小步距或者需要超精确定位的应用场景。是精密光学调试、安装、加工非常优秀的应用选择。自主研发的气浮导轨使得我们获得更快速的供货能力和经济性。

适用于光学,生物,半导体等领域。

需使用在干净洁净的厂所。

img2 技术指标

型号:ABS180

技术指标

-100

-200

-300

-400

行程

100mm

200mm

300mm

400mm

光栅类型

增量式光栅0.1um(可选最高1nm光栅,绝对式选配)

直线推力

持续132N/峰值230N

加速度(空载)

5G

限位类型

机械、光电

材料

重复定位精度 

≤±0.2um(如选配5nm光栅,最高可达±50nm

定位精度 um

2um/100mm (校准后可小于0.5um/100mm

最大速度 mm/s

300mm/s

平面度

≤±0.4 um

≤±0.5 um

≤±0.7 um

≤±0.8 um

最大负载 kg

5

直线度

≤±0.5

最大速度 

1m/s

备注:可订制不同行程,请与厂家联系