行走式压电位移台真空版本
高真空中的纳米分辨率运动
能级光电 GO Stage HV 专为高真空而设计
环境低至 10-6 mbar。 每个阶段都是配有
真空侧电缆（PTFE 涂层电线在编织金属套
管中）以母9针D-SUB 连接器。 每个压电
位移台还带有一个空气侧母头 D9SUB 转
ix-Industrial 电缆。将真空侧和空气侧电
缆连接到你的 D9SUB 馈通，空气侧 ix 连
接器到 GO 控制器，您就可以开始了！
多轴模块化系统
· 5 N 推拉力
· 用于Z轴可以以> 5 mm / s的速度举升0.5 kg
· 2 nm最小增量运动
· 连续运动平滑
· 快速启动，快速响应
· 可自锁
技术指标
MODEL | 行走式压电位移台 LLS4545 HV vacuum |
定位 | 20 mm (如有需求，可订制35，50，90mm行程) |
行程(X) | |
位置传感器 | 光学编码器 |
传感器分辨率 | 2 nm |
最小位移增量 | 2 nm |
双向重复定位精度 | +- 100 nm (typ. @ +- 10mm travel) |
线性度 | +- 2 µm (typ.) |
PITCH | +- 150 µrad (typ.) |
YAW | +- 150 µrad (typ.) |
运动 | 5 N (min.) |
最大推拉力 | |
保持力 (断电自锁) | 6 N (min.) |
最大速度 (空载) | 8 mm/s |
最大速度 (在最大输出力输出的情况下) | 5 mm/s (min.) |
驱动形式 | LEGS 行走式压电陶瓷驱动 |
电机驱动形式 | |
机械参数 | 0,5 kg |
最大负载能力 (Z 向) | |
最大负载能力(X，Y向) | 3 kg(推力满足的条件下也可放置更大负载) |
导轨 | 高精度交叉滚子导轨 |
尺寸 | 45x45x14 mm |
重量 (W/O 线缆& 接头) | 75 g (+-10%) |
其他 | 2 m 长 (+-5%) 包含接头 |
线缆工长度 | |
材料 | 铝 |
订货信息
联接系 ( +86 15245137548 )
产品 | 描述 |
GO-LLS4545 | 行走式压电位移台LLS4545 HV真空版本有线缆和连接器 · 空气侧电缆D9SUB & ix Industrial™ 连接器。 · 4个M2螺钉，用于将载物台安装到基板上。 |
VM-LLS4545 | · 一个L型支架，用于垂直安装平台，例如 YZ配置，包括 · 8个M2螺钉，用于将两个平台安装到L型支架上。 |
