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更新-行走式压电位移台




精密而强大的纳米位移台


应用于光学及显微镜下的纳米位移台


行走式压电位移台可在纳米级精度范围内移动超过厘米的距离，最大可举起500克重量，并且在静止状态下处于自锁。

行走式压电位移台带有集成的位置传感器，                  旨在提供快速，易操作，高精度，负载能力大。

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可选取一个，两个或三个压电位移台及可选的L型支架，构建多轴系统。将压电位移台的线缆接头插入控制器，即可开始多轴运动控制。

多轴模块化系统


·                      5 N 推拉力

·                      用于Z轴可以以> 5 mm / s的速度举升0.5 kg

·                      2 nm最小增量运动

·                      连续运动平滑

·                      快速启动，快速响应

·                      可自锁


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技术指标


MODEL

GO STAGE LLS4545

GO STAGE LLS6545

GO STAGE LLS8545

定位


20 mm


35 mm


50 mm

行程(X)

传感器类型

Incremental Encoder

Absolute Encoder

Absolute Encoder

传感器分辨率

2 nm

4 nm

4 nm

最小位移增量

2 nm

4 nm

4 nm

双向重复定位精度

+- 100 nm (typ. @ full travel)

线性定

+- 2 µm (typ.)

PITCH

+- 150 µrad (typ.)

YAW

+- 150 µrad (typ.)

运动


5 N (min.)

运行时推拉力 

保持 力(断电自锁)

6 N (min.)

最大速度 (空载)

8 mm/s

最大速度 (在最大输出力的情况下)

5 mm/s (min.)

驱动形式


LEGS行走式压电陶瓷驱动

电机驱动形式

机械参数


Z方向0,5 kg，XY方向2KG

最大负载能力

导轨

高精度交叉滚子导轨

尺寸

45x45x14 mm

65x45x14 mm

85x45x14 mm

重量 (W/O 线缆& 接头)

75 g (+-10%)

TBD

TBD

其他


2 m (+-5%)

线缆工长度

材料

铝

                                可提供10-6 mbar高真空版本

订货信息

联接系 ( +86 15245137548 )

产品

描述

GO-LLS4545

行走式压电位移台LLS4545有线缆和连接器

·       4个M2螺钉，用于将载物台安装到基板上。

GO-LLS6545

行走式压电位移台LLS6545有线缆和连接器

·       4个M2螺钉，用于将载物台安装到基板上。

GO-LLS8545

行走式压电位移台LLS8545有线缆和连接器

·       4个M2螺钉，用于将载物台安装到基板上。

VM-LLS4545

·       一个L型支架，用于垂直安装平台，例如 YZ配置，包括

·       8个M2螺钉，用于将两个平台安装到L型支架上。