微型位移台

微型直线位移台

特点（体积较小，可带更大负载）

·                      超薄，直线电机驱动，无铁芯电机，速度波动低于千分之一

·                      小尺寸              

·                      10 nm最小增量运动

·                      重复定位精度：≤0. 1um

·                      光栅分辨率 1nm（1vpp）或绝对式光栅

·                      静音防蠕动导轨，可确保微小步距

·                      进口交叉导轨

·                      最大负载：12Kg

·                      连续运动平滑，工业级别使用寿命，长时间免维护

·                      快速启动，快速响应 ，动态性能好                                         

LMS130系列采用高精度带防蠕动功能的交叉滚柱导轨，配合直线电机及高分辨率的直线光栅心，具体体积小，负载大，静音等优点，配合高性能的驱动系统，可以稳定最小位移量10nm.可用于高精度定位，检测，曝光及微加工等应用场景

 技术指标

型号：LMS-130

备注：可订制不锈钢材质，请与厂家联系。