
微型直线位移台
特点(体积较小,可带更大负载)
· 超薄,直线电机驱动,无铁芯电机,速度波动低于千分之一
· 小尺寸
· 10 nm最小增量运动
· 重复定位精度:≤0. 1um
· 光栅分辨率 1nm(1vpp)或绝对式光栅
· 静音防蠕动导轨,可确保微小步距
· 进口交叉导轨
· 最大负载:12Kg
· 连续运动平滑,工业级别使用寿命,长时间免维护
· 快速启动,快速响应 ,动态性能好
LMS130系列采用高精度带防蠕动功能的交叉滚柱导轨,配合直线电机及高分辨率的直线光栅心,具体体积小,负载大,静音等优点,配合高性能的驱动系统,可以稳定最小位移量10nm.可用于高精度定位,检测,曝光及微加工等应用场景
技术指标
型号:LMS-130
技术指标
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-60
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-110
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-160
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行程
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60mm
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110mm
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160mm
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光栅类型
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增量式光栅0.1um(可选最高1nm光栅,绝对式选配)
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直线推力
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额定40N 峰值90N
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加速度(空载)
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3G
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2.5G
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2G
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限位类型
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机械、光电
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材料
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铝
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重复定位精度 um
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±0.1um(±50nm 对应5nm以上光栅)
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定位精度 um
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±3um(校准±0.5um)
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最大速度 mm/s
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300mm/s
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最大负载 kg
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6
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8
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12
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电机类型
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无铁芯直线电机
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备注:可订制不锈钢材质,请与厂家联系。